干式机械真空泵国外干式机械真空泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、
薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45% 以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
我国干式真空泵的生产处于刚刚起步阶段,在全国200多家生产真空泵的企业中,能够生产干式真空泵的企业不足10家,年产量不足1000台。没有形成批量生产。目前国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学、医药等领域,用于半导体行业的很少。
国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展,而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。目前国内建成的半导体集成电路生产线,几乎所有的干式真空泵(包括其它真空设备)均为进口,主要来自英国、日本、德国、美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难,使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚,刚一起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场,国内产品除了价格低外,在加工制造、技术水平、质量状况等各方面不含有优势,国外各国的产品经过几年的较量,已经基本瓜分了国内市场,并且站稳了脚,国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励,没有了发展的动力,进步缓慢。
业内专家一致认为干式真空泵是真空获得设备发展的方向,也是真空获得手段的“尖端”技术,我国的真空泵产业必须在此领域有所作为,首先进入食品、化工、医药等行业。经过这些市场的培育和锻炼,进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展。
目前国内分子泵应健全系列并开发多品种,如低温分子泵、复合分子泵等,逐渐扩展市场。