干式真空泵是指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。
目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其它流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本；其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。
干式真空泵的应用主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
罗茨真空泵指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，由罗茨鼓风机演变而来，根据工作范围的不同，又分为直排大气的低级真空罗茨泵；中级真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高级真空多级罗茨泵。
抽气速率为30～10000L/s；
极限真空：
单级为6.5×10-2Pa，
双级为1×10-3 Pa 。
一般来说，罗茨泵具有以下特点：
1在较宽的压强范围内有较大的抽速； 2、起动快，能立即工作； 3、对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 4、转子不必润滑，泵腔内无油； 5、振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； 6、驱动功率小，机械摩擦损失小； 7、结构紧凑，占地面积小； 8、运转维护费用低。
