真空泵的性能指标及其分类
一、真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。
可定义为:利用机械、物理、化学等方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速可从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
真空泵广泛用于机械、化工、低温设备、电子行业、冶金、石油、矿山等领域。
二、真空泵的性能指标
1、抽速
单位时间内,真空泵吸入口在吸入状态下的气体体积量(吸入压力和温度下的体积流量),单位是m³/h、 m³/min。
抽速与吸入压力有关,吸入压力愈低,抽气速率愈小,直至极限真空时,抽气速率为零。
2、 极限压力 (单位:Pa)
泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力
三、真空泵分类
1、按其真空度可以分为:粗真空、高真空、超高真空三大类。
粗真空: 760~10托;
低真空: 10~10-3托;
高真空: 10-3~10-8托;
超高真空:10-8~10-12托,
极高真空:10-12托以下
(1标准大气压=760托,1托=133Pa)
2、按其工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型。
气体输送泵
使气体不断的吸入和排出,以达到抽气目的。
气体捕集泵
使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小容器内的气体分子数目,达到抽气目的。