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目前主要的涡旋真空泵的种类有哪些以及立式油润滑涡旋真空泵概述

 
导读: 目前主要的涡旋真空泵的种类有哪些以及立式油润滑涡旋真空泵概述

目前主要的涡旋真空泵的种类有哪些:


获得低真空的独立设备是机械泵。作为前置泵,获得高真空泵作为二级泵。

目前主要有涡旋真空泵

1、立式油润滑涡旋真空泵

2、水冷式干涡旋真空泵

3、风冷式干涡旋真空泵

4、带波纹管密封的干涡旋真空泵


立式油润滑涡旋真空泵

泵的径向间隙具有密封方便的优点还有控制。与当时市场上广泛使用的叶片式真空泵相比,涡旋式真空泵具有更高的容积效率。

同时,该型真空泵体现了涡流真空泵的高效性,并对如何消除间隙容积和控制间隙提出了有效的方法。

但由于缺乏冷却装置,真空泵的应用受到很大限制。同时,随着半导体工业的发展,该系统已不能满足清洗和耐腐蚀的要求。



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