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各种类型的真空泵的参数比较

 
导读: 各种类型的真空泵的参数比较

各种类型的真空泵的参数比较


Classifies

Pump   Name

Principle

Range

机械Pump

Root’S Pump

压缩、扩散

可达10-3torr

Oil   Pump

压缩、扩散

可达10-3torr

Turbo   Pump

压缩、扩散

可达10-5torr

非机械Pump


Diffusion   Pump

用油做介质

冷却、扩散

可达10-5torr


CRYO  Pump

用冷媒做介质

冷却、吸附

可达10-8torr




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