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涡轮真空泵的工作原理和功能描述

 
导读: 涡轮真空泵的工作原理和功能描述 Turbo Pump(涡轮泵) 由多级叶片组成,高速马达驱动着Rotor,当气体分子因为扩散进入pump,将会受到rotor撞击而向后极加速前进。

 涡轮真空泵的工作原理和功能描述

   Turbo  Pump(涡轮泵) 

   由多级叶片组成,高速马达驱动着Rotor,当气体分子因为扩散进入pump,将会受到rotor撞击而向后极加速前进。

  The characteristic of the Turbo pump 间隙很小,很容易堵塞  间隙不一样长,从上注下,间隙逐渐变小

 

外物:高速旋转的rotor若有外物掉入,会严重毁坏rotor ,因此在入口处均有一金属网防止异物。

 突然vent:运转时突然有大量的气体进入,会撞击轴承会造成Turbo Pump的寿命缩短,一般Turbo Pump ,可承 受30至50 次此情况。同时, Turbo Pump还有UPS蓄电池保护。

 Turbo Pump不能即停,会影响rotor和叶片,影响Pump寿命。


真空油被加热之后,获得极高的热能分子由喷嘴处向下喷射,且与周围气体分子碰撞,由动量转移通过外接低真空pump将聚集在出口处的气体分子带走由此导致入口处与出口处因气体分子数浓度不    同而产生扩散现象

   Cold Head能防止油蒸气回流至Chamber  Fore line管路中的Buffer防止油蒸气被Pump抽走  油挡板和冷凝井使用都是为了进一步防止油蒸气 回流至真空系统 加Pump油时,最好由前级口灌入,也可由进气 口添加,须避免最顶部之喷嘴罩杯被油沾湿,否则易造成蒸气回流

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