不锈钢真空泵

24小时服务热线

15151388866

News

首页 > > 技术文章 > 低温真空泵的工作原理和工作过程 >

低温真空泵的工作原理和工作过程

 
导读: 低温真空泵的工作原理和工作过程 CRYO Pump(低温真空泵)为高真空pump,应该和低真空pump配合使用,工作前真空度应该达到10-2mbar ,否则无法工作。

    低温真空泵的工作原理和工作过程


       CRYO Pump(低温真空泵)为高真空pump,应该和低真空pump配合使用,工作前真空度应该达到10-2mbar ,否则无法工作。

      当吸附气体饱和后,要做regeneration(再生) ,即将高温N2通入使凝结的气体释放而排出pump。

      入口处挡片吸附水泡,里面的特殊气体吸附(成液态状)。CRYO pump(低温真空泵) 需要接一个compressor(压缩机)通压缩的盒。


       Compressor 将he气压缩至约230psi ,并将因气体压缩而产生的高温由   cooling water 冷却,冷却后的高压he由管路送至PUMP ,在cylinder中膨胀,气体膨胀时会降温,因此丛周围吸收大量热量,使80°Karray及15°K分别降温至80°K及15°K (-193°C,-258°C)。膨胀后的he压力约80psi ,再经管路回至compressor中。

      当气体分子撞击此低温的array时,会凝结于array上,而达到减少空间中气体分子数量。事实上气体分子并未离开chamber ,只是被保留在PUMP上。

      80°Karray用以吸附H2O、碳氢化合物等易凝结的气体, 15°Karray则用以吸附N2、O2、Ar、CO2、CO等气体。至于需要更低温度才凝结的气体,如H2、He、Ne等则使用活性碳(active charcoal)吸附。

当array吸附太多气体后其效率会明显降低,此时须做REGEN。

223.jpg


关于鑫华
真空泵型号
无油立式系列
2SK水环式系列
2BVS水环系列
ZJ罗茨真空泵系列
真空泵资讯
行业资讯
技术文章
真空泵案例
联系我们
0513-82109951
手机:15151388866、13606281226
地址: 江苏省南通海门市中华西路北首
关注我们
扫一扫关注我们
扫一扫关注我们