余摆线真空泵
余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气。在泵腔内各运动件表面间用油膜密封，所以这种泵是一种油封式机械真空泵。它主要由泵体和转子构成。转子的型线为余摆线，泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在泵盖上的小齿轮啮合。
当转动轴旋转时，偏心轮即带动内齿轮(即转子)绕小齿轮作行星运动，泵体点永远与转子表面接触，将泵腔分隔成A和B两室。转子逆时针方向旋转， A室内压力逐渐降低,气体从吸气口不断被吸进，同时B室内的气体逐渐被压缩，通过排气阀排出泵外。
从结构原理和使用性能来看，余摆线泵与同类型泵相比有很多优点：
1) 运转平稳、振动小，尺寸小、抽速大。
2) 在低压范围内 (1～ l00Pa) 其抽速特性曲线优于滑阀泵。
3) 对被抽气体中含有一定量的粉尘及小颗粒等不太敏感。
4) 适应较高温度的工作环境，可通过温控装置使泵腔保持较高温度 ( 即成为余摆线热泵 ) ，以抽除大量的可凝性水蒸汽。
由于余摆线泵在 1 ～ l0Pa 压力范围内仍具有很大的抽速，因此该泵适用于真空行业中的 大排气量装置。目前已在真空冶金、真空热处理、真空干燥、浸渍等行业中得到应用。
