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干式真空泵和罗茨真空泵的优缺点分析

 
导读: 干式真空泵是指泵能从大气压下开始抽气,又能将气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵

      干式真空泵是指泵能从大气压下开始抽气,又能将气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。   

     目前,大多数机械真空泵都是用油、水或其它流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随科技发展及真空应用领域的扩大,原有的真空泵出现了两个急需解决的问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。 

干式真空泵的应用主要有以下几个方面: 

 1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺;

 2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

 3)除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;

 4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

 5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


罗茨真空泵指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,由罗茨鼓风机演变而来,根据工作范围的不同,又分为直排大气的低级真空罗茨泵;中级真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高级真空多级罗茨泵。

抽气速率为30~10000L/s;

极限真空:

   单级为6.5×10-2Pa,

   双级为1×10-3 Pa 。

一般来说,罗茨泵具有以下特点:

1在较宽的压强范围内有较大的抽速; 2、起动快,能立即工作; 3、对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感; 4、转子不必润滑,泵腔内无油; 5、振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀; 6、驱动功率小,机械摩擦损失小; 7、结构紧凑,占地面积小; 8、运转维护费用低。 

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