真空泵的检漏技术
压力检漏：
真空容器内冲入一定压力的示漏气体，示漏气体从漏孔漏出，用传感器检测示漏气体的出现，判断漏孔的位置；大小。
水压法，压降法，听音法；超声波法，气泡法；卤素检漏法；氨检漏法；同位素检漏；质谱检漏。
真空检漏方法：
被检容器和传感器处于真空状态，示漏气体施加在容器外，如果漏入容器内，传感器检测到，从而判断漏孔所在
静态升压法；放电管法；高频火花检漏；真空规检漏；卤素检漏法；离子泵检漏；氦质谱检漏法
常用的方法：气泡法（10-2-10-4TorrL/s）。
放电管法（10-2TorrL/s）
规管法
氦质谱法（10-8TorrL/s）
喷洒 CH3OH or C2H5OH 到漏孔处， 观测压力上升
丙酮： OK 对金属, 有害于 O-ring, 有害于健康
响应时间 ~ 几秒钟, 不能移动太快.
溶剂挥发干需要时间. 响应消除时间长
从地处往高处逐步检.
氦气检漏:
喷洒氦气
需要质谱仪、残余气体分析仪 or 氦气探测器
快速 ≲ 1 sec ∵ 质量轻 ∴ 速度快
氦气容易被抽空
背景低
惰性
氦气扩散快. ⇒ 判定漏孔
