真空泵的常见故障原因和检修方法
故障 | 可能的原因 | 检修 |
泵无法启动 | 电源线连接不正确； | 检查、维修电源线 |
供给电机的电源电压与电机不匹配； | 更换电机 | |
电机发生故障； | 更换电机 | |
泵油温度低于10摄氏度； | 加热泵和泵油或使用别的类型的泵油 | |
泵油太粘稠； | 换油 | |
排气过滤器或排气管道被堵塞 | 清洗过滤器或排气管道 | |
泵被卡死 | 维修泵 | |
泵达不到极限压强 | 测量方式或规管不合适 | 使用正确的测量方法及规管/在泵的进气口处直接测量真空度 |
外部泄漏 | —— | |
放返油阀失效 | 维修防返油阀 | |
排气阀故障 | 维修排气阀 | |
泵油不合适 | 换油（必要时对油脱气） | |
进气口被污染 | 清洗抽气管道 | |
泵的抽速太小 | 确认系统参数，必要时换泵 |
故障 | 可能的原因 | 检修 |
泵的抽速太慢 | 进气口或进气管道被堵塞 | 清洗进气管道（预防：在进气口前安装一个杂物过滤器） |
排气过滤器被堵塞 | 更换过滤器 | |
连接的真空管直径太小或管道太长 | 使用直径足够大的管道或短的连接管道 | |
停泵以后，被抽容器中的压强上升过快 | 真空系统有泄漏 | 对系统进行检查 |
防返油阀故障 | 维修防返油阀 | |
泵在运行中温度过高 | 冷却泵所需的风受阻 | 正确的安装（电机后部应留足够的空间） |
泵工作的环境温度太高 | 降低环境温度、最高允许环境温度40度 | |
所抽气体的温度太高 | 改变工艺 | |
油位太低 | 加油 | |
油不适合 | 换油 | |
泵油的循环受阻 | 清洗或维修进油嘴 | |
排气过滤器或排气管道被堵塞 | 更换过滤芯、清洗排气管道 | |
排气阀故障 | 维修排气阀 | |
泵腔被磨损 | 更换泵腔部件 |
故障 | 可能的原因 | 检修 |
在真空管道中或被抽容器中发现油 | 油来自真空系统 | 检查真空系统 |
防返油阀失效 | 清洗或维修防返油阀 | |
防返油阀的密封面磨损或太脏 | 清洗或维修进气口和防返油阀 | |
油位过高 | 放掉多余的泵油 | |
泵油混浊、乳化 | 可凝性气体凝结 | 对油进行脱气或换油并冲洗泵腔；预防：打开气镇阀 |
泵的噪音过大 | 油位太低（观察窗内已经看不到油） | 加油 |
消音孔被堵塞 | 清洗或更换消音孔部件 | |
进气口压强太高 | 降低进气口压强 | |
内部油雾过滤器被堵塞 | 清洗或更换油雾过滤器 | |
弹性联轴体磨损 | 更换一个新的弹性联轴体 | |
叶片或轴承损坏 | 维修泵 |
