低温真空泵的工作原理和工作过程
CRYO Pump(低温真空泵)为高真空pump,应该和低真空pump配合使用,工作前真空度应该达到10-2mbar ,否则无法工作。
当吸附气体饱和后,要做regeneration(再生) ,即将高温N2通入使凝结的气体释放而排出pump。
入口处挡片吸附水泡,里面的特殊气体吸附(成液态状)。CRYO pump(低温真空泵) 需要接一个compressor(压缩机)通压缩的盒。
Compressor 将he气压缩至约230psi ,并将因气体压缩而产生的高温由 cooling water 冷却,冷却后的高压he由管路送至PUMP ,在cylinder中膨胀,气体膨胀时会降温,因此丛周围吸收大量热量,使80°Karray及15°K分别降温至80°K及15°K (-193°C,-258°C)。膨胀后的he压力约80psi ,再经管路回至compressor中。
当气体分子撞击此低温的array时,会凝结于array上,而达到减少空间中气体分子数量。事实上气体分子并未离开chamber ,只是被保留在PUMP上。
80°Karray用以吸附H2O、碳氢化合物等易凝结的气体, 15°Karray则用以吸附N2、O2、Ar、CO2、CO等气体。至于需要更低温度才凝结的气体,如H2、He、Ne等则使用活性碳(active charcoal)吸附。
当array吸附太多气体后其效率会明显降低,此时须做REGEN。