不锈钢真空泵获得好真空度的经验和操作建议
一：经验：
1、无漏气
2、干净：对油泵使用捕集阱: 分子筛, LN2 3、 金属材料和致密陶瓷是优良的真空材料 4、塑料和真空脂：尽可能少用 5、 可信的密封：寻找漏气是很耗时的. 6、 对于 10-10 torr or better的真空要烘烤 7、 抽气管路通常 8、 RGA 最好备用
二：真空设计需要特别注意：
1、是否要加热部件（样品加热)? 2、 石英加热管；陶瓷加热管；加热带等
3、 腔体内不允许有空隙存在，如果有，必须有排气通路 4、 选择合适的密封圈 5、是否有阳极氧化部件？
三：操作建议：
1、不要损伤法兰的密封刀口，手不要触摸密封圈的表面。否则，容易产生脱气
2、不要在连接管道和法兰处施加应力
3、所有物品必须是真空兼容的， 才能放入真空室。而且放入真空室之前一定要清洗
4、只有真空油脂和润滑剤才是可以使用的】
5、注意真空系统开启和关闭的程序。通常这方面的失误导致真空系统的损坏。
